J-doradic.com เว็บ ดิกไทย – ญี่ปุ่น ดิกญี่ปุ่น – ไทย ที่ดีที่สุด

ค้นหาศัพท์
ความหมาย

[n คำนาม]

(Kanji)

スパッタリング


(Yomikata)

スパッタリング


(Romaji)

supattaringu


(Thai)

สปัตเตอร์ริ่ง sputtering เป็นหนึ่งในสามกลุ่มของการเคลือบโดยไอเชิงฟิสิกส์ (PVD coating) เมื่อผิวของแข็งถูกระดมยิงด้วยอนุภาคที่มีพลังงานเช่น ไอออนที่มีความเร่ง อะตอมที่ผิวของแข็งจะถูกกระเจิงออกมาเนื่องจากการชนระหว่างอะตอมที่ผิวและอนุภาคพลังงานปรากฏการณ์นี้เรียกว่า สปัตเตอริงกลับ (back sputtering) หรือสปัตเตอริงเชิงเดียว(simple sputtering) และอะตอมที่หลุดออกมาจากผิวของแข็งนี้ จะไปก่อตัวบนชิ้นงานเกิดเป็นฟิล์มบางขึ้น